洁净室要提供满足工艺过程要求的合格洁净环境，应从设计、建造、调试和运行管理各方面遵循如图1-2所示的四个基本原则。

01防止洁净室外的颗粒物直接侵入室内

　　主要采取以下技术措施：

　　1、洁净室内维持正压，防止洁净度比该洁净室低的周围空气携带颗粒物及其他污染物通过围护结构的缝隙和孔洞直接进入室内；

　　2、采用符合要求的空气净化系统对送风进行过滤。经高效过滤后的空气，不得被其后的管道、送风口等再污染，同时注意高效过滤器与安装密封设施，以免未经高效过滤的空气渗漏入室；

　　3、对进入室内的人员和物料采取合格的净化措施，防止将污染物带入洁净室内。

02防止颗粒物在洁净室内堆积、积聚

　　主要采取以下技术措施：

1、洁净室围护结构内表面不应或尽量减少突出物和沟缝，以免堆积尘埃；

　　2、室内的设备、管路、家具等应易于清扫；

　　3、设置真空清扫系统或真空扫除机，定期清扫。

03防止洁净室内产生颗粒物

主要采取以下技术措施：

　　1、洁净室内的建筑装修材料、设备、家具、用具等应不产尘或尽可能少产尘；

　　2、室内人员应穿着合格的洁净服、遵循洁净室操作（动作、规程，以减少发尘；

　　3、提高工艺过程的机械化、自动化程度，这对高级别洁净室尤为重要。